烧结炉配套冷水机 烧结炉冷却设备 烧结炉制冷机

半导体陶瓷烧结炉配冷水机，陶瓷烧结炉配冷水机

工艺应用：碳化硅反应烧结炉主要应用于硬质合金、铜钨合金等金属以及由难熔炼金属组成的合金材料的真空烧结，以及陶瓷材料、碳化硅的高温烧结：单晶炉循环水冷却设计方案解析

胡鑫冷水机组

随着半导体行业需求增长，温控设备在芯片制作中作用关键。单晶炉温控对晶体生长至关重要，需合适冷却水系统。胡鑫设计单晶炉冷却系统，包括工艺冷却水和冷媒控制系统，采用西门子控制器，广泛应用于半导体生产设备。

摘要由作者通过智能技术生成有用

随着国家对半导体行业的投入力度越来越大，国内半导体企业的数量也越来越多，无论是生产型企业还是科研、高校、研究所对半导体生产设备的需求量也越来越大。从晶圆的生长，一直到芯片成品的检测，温控设备始终贯穿于整个芯片的制作过程中。

晶圆制造涉及的工艺流程与环节包括：单晶炉制造硅片、通过氧化扩散炉进行氧化扩散、清洗机清洗、CMP设备进行抛光、离子注入、通过溅射靶材进行沉积、刻蚀机进行刻蚀、光刻机进行光刻 ，其中需要使用温控设备的包括：单晶炉、刻蚀机、光刻机、等离子冲洗、快速退火炉、气相沉积（PVD\CVD）、分子束外延、划片机、键合机、低温探针台等。以下主要对单晶炉的冷却水循环系统设计展开讲解。

单晶炉温控原理及要求

对单晶炉来说，合适的温度对于晶体的生长至关重要，要有足够的冷却水来对单晶炉炉体及加热电极、真空系统进行降温。

而单晶炉对循环冷却水的变化有要求，水温度的过高或者过低都会影响单晶硅的生长环境。另外对冷却水的纯度、进出水温度、流量和压力、结构的耐腐蚀等都有严格要求。

根据循环冷却水的要求，四川某大学研发团队通过业内人员介绍找到胡鑫公司平台，委托我们设计一套针对单晶炉的冷却系统方案。

KAYDELI 单晶炉冷却系统解决方案

在充分了解该项目的具体参数要求和工艺原理，设计一套针对单晶炉的循环水设计系统，该设计方案包括工艺冷却水控制系统和冷媒控制系统。

工艺冷却水控制系统

工艺冷却水控制系统可为单晶炉炉体及加热电极、真空泵降温冷却，由冷水机组、工艺水池、冷却水泵、冷却管路及热交换器组成。

冷水机组由2台胡鑫风冷涡旋机组，温度范围可降低到20-25度，机组将冷却水从循环水泵输送到工艺冷却水池，再由水泵输送进冷却通路为炉体发热部件循环降温，可实现不同负荷下的制冷模式，最大化稳定工艺冷水控制系统。

冷媒控制系统

在冷媒控制系统中，冷水机内部气态冷媒由压缩机压缩，进入冷凝器液化，再由膨胀阀装置变成低温气液混相，在蒸发器内，实现与工艺冷却水系统热交换器换热，达到工艺水池的需求温度。冷媒控制系统中，因单晶炉工艺水池特殊水质要求，采用全不锈钢蒸发器要求，避免因水质问题污染工艺水池的冷却水，给单晶炉冷却造成不利影响。

在整个冷却水系统设计中，胡鑫冷水机组电控系统使用德国西门子PC／PLC可编程控制器，由人机界面触摸操作，实时观察系统运行的参数，并且可简单直观输入各种初始参数，例如工艺冷却温度上下限报警值、水位上限限值、出水温度上下限值、冷却水压力上下限值等。

胡鑫冷水机广泛应用在半导体行业的光刻机、蚀刻机、化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、晶圆清洗等不同生产设备的降温冷却，可针对不同工艺要求非标定制冷水机组，满足工农业和科研领域的冷热需求。关注胡鑫官方，了解更多行业应用案例。

烧结炉制冷机组 真空热处理炉型工业冷水机烧结炉型12匹风冷式冷水机销售

真空热处理炉在运转环节中会形成很多的发热量,进而造成机器设备溫度过高导致毁坏,广州诺雄真空热处理炉工业冷水机是针对真空技术减温研制开发的工业冷水机,该冷水机应用全智能智能温控器,选用高精密数据表明,设置溫度值范畴3～50℃,数据可调式,随意设定.

半导体陶瓷烧结炉配冷水机，陶瓷烧结炉配冷水机产品简介：

真空热处理炉一般由炉墙，炉内，电加热设备，密封性炉盖，超滤装置，供配电系统，温度控制系统软件等构成，为避免炉盖遇热后（溫度达到50~80℃）形变导致设施毁坏，必须工业冷水机致冷，18~20℃循环系统致冷，可使电脑一切正常运作。

真空热处理炉型工业冷水机特性特点：

1.真空热处理炉型工业冷水机,根据本身吸进冷空，出热空，排热不用外接排热塔，安裝、挪动便捷。服务器选用欧美日進口制冷压缩机，内嵌安全性维护，运作靠谱,高效率,噪音低，节电经久耐用，使用期限长。

2.全智能智能温控器，选用高精密数据表明，能操纵温度±1℃。设置溫度值范畴3～50℃，数据可调式，随意设定。

3．配置敞开式不锈钢板厚质保温箱体，内嵌全自动补水保湿，全自动温度控制。

4.制冷机组冷却器选用波纹管式，套螺纹空调铜管，设计方案有效，换热效高。

5.制冷机组排热冷排，由翘片上队伍管组排，生产制造时选用二次反边翘片机械设备涨管加工工艺和先得热交换器，确保高品质。

6. 静电粉末喷涂机壳，欧化设计方案，美观大方精致，坚固耐用。表面板选用迅速拆卸方式，使用方便和维护保养。侧进风，侧排风系统，排热功能好。改装万向轮，挪动更便捷。

胡鑫冷水机的制冷的三个特性：

一、是一定要应用的制冷压缩机，它是工业冷水机较关键的一个一部分，要是没有它，那麼工业冷水机就无法一切正常运行，制冷压缩机的品质影响到全部工业冷水机的应用状况，因此在购买冷冻机的情况下一定要关心制冷压缩机的品质状况，干万不可忽略它。

二、是在工业冷水机的里面有设定全自动的续水设备，不用人力或是是别的补水保湿机器设备，并且它的储水箱是非常容易安裝的，平时的维护保养和检修也很便捷。

三、是冷水机的控制面板上配有常见电源开关和别的像电流计、控制板等必需的机器设备，实际操作特别的简易，方便使用，不用过多的使用工作人员.

冷水机的原理

1、冷水机原理是先向工业冷水机机内储水箱流过一定量的水，根据工业冷水机制冷机组的致冷功效将小水箱内的冷却水减温。

2、再由循环系统冷冻离心水泵将温冷冻水送至需加温的电子产品模貝或其他制冷系统中，工业冷水机循环系统冷冻水将电子产品不务必的发热量取走后冷却循环水溫度提高再根据循环泵循环系统流回到工业冷水机储水箱内，再根据制冷机组冷凝器开展吸热反应将冷却循环水更进一步加温减温。

3、这般循环往复才可使人们的电子产品或消防水池的温度做到人们需要的满意溫度。

4、加温温度可依据规定按客户设定好的溫度自动调节，无务必人员照顾。冷水机的优越性特性剖析，进一步掌握冷水机优点一：温度控制工作能力，的温度控制工作能力针对冷水机来讲十分关键。博盛致冷的机械设备10HPWD-10WS水冷式冷水机选用日本“康佳”制冷压缩机和大阪高效率管螺纹空调铜管壳管式冷凝器，组装机配置单内置式自动控制系统，温度控制范畴可达5℃~25之内。不但具备的温度控制工作能力，并且也有绿色环保的特性。

优点二：换热效高，胡鑫致冷的机械设备的冷水机商品内嵌不锈钢板厚质储水箱式冷凝器1套，内嵌全自动补水保湿等设备，省掉工程项目安裝中的水箱，便捷安裝维护保养，并适用大温度差小总流量等特别场所，具备构造简易、检修便捷、换热效高优点。

工业冷冻机的水冷器冷却器特性及基本原理

1、因为制冷总流量大流动速度高，故导热系数较高，一般K=600～700(kcal/m2·h·℃)。

2、竖直安裝占地总面积小，且可以组装在户外。

3、冷却循环水直达流动性且流动速度大，故对水体规定不高，一般水资源都能够做为冷却循环水。

4、管中污垢易消除，且无须终止制制冷机组工作中。

5、但因立柱式冷却器中的制冷温度升一般仅有2～4℃，多数均值温度差一般在5～6℃上下，故用水量比较大。且因为机器设备放置空气中，管道易被浸蚀，泄露时比易被发觉.