fcbga封装清洗机的基本结构大致是相同的， 一般装置可由真空室、真空泵、高频电源、电 极、气体导入系统、工件传送系统和控制系统等部分组成。通常使用的真空泵是旋转油泵，高频电源通常用13.56 MHz的无线电波。 

fcbga封装清洗机是利用等离子体内的各种具有高能量的物质的活化作用，将附着在物体表面的污垢彻底剥离去除。 以氧气等离子体去除物体表面油脂污垢为例，说明这些作用。等离子体对油脂污垢的作用，类似于使油脂污垢发生燃烧反应；但不同之处是其在低温情况下发生的 “燃烧 ”。 其基本原理：在氧气等离子体中的氧原子自由基、激发态的氧气分子、电子以及紫外线的共同作用下，油脂分子最终被氧化成水和二氧化碳分子，并从物体表面被清除。 从以上可以看出，用等离子体清除油污的过程可以理解为有机大分子逐步降解的过程，最终形成的是水和二氧化碳等小分子，这些小分子以气态形式被排除。 

氧气等离子体形成过程即可用下列6个反应式来表示： 

O2——O2 + e （1） 

O2——2O （2） 

O2 + e——O2 + e （3） 

O2 + e——O2 + hv + e （4） 

O2 + e——2O + e （5） 

O2 + e——O + O+ + 2e （6） 

fcbga封装清洗机第一个反应式表示氧气分子在得到外界能量后 变成氧气阳离子，并放出自由电子的过程。第二个反应式表示氧气分子在得到外界能量后分解形成 两个氧原子自由基的过程。第三个反应式表示氧气 分子在具有高能量的激发态自由电子作用下转变成 激发态。第四第五反应式则表示激发态的氧气分子 进一步发生转变，在第四个反应式中，氧气回到通常状态的同时发出光能（紫外线）。在 第五个反应式中，激发态的氧气分子分解成两个氧原子自由基。第六个反应式表示氧气分子在激发态自由电子的作用下，分解成氧原子自由基和氧原子阳离子的过程。当这些反应连续不断发生，就形成里氧气等离子体。其它气体的等离子体的形成过程也可用相似的反应式描述。当然实际反应要比这些反应式描述的更为复杂。 

等离子体作为物质存在的第四态，用来进行表面处理具有简捷、高效、环保等特点，可以广泛地应用于各类材料。表面脏污，特别是经机械和湿式化学清洗后仍存在的残留物通常是有机物。很多溶剂无法完全除去的油脂、脱模剂、有机硅。如果表面上仍残留这些物质，则会妨碍所有后续的处理步骤，特别是会影响粘合与涂层。这些物质大多可通过氧气等离子体，还可通过空气等离子体彻底清除。低温氧等离子体处理不仅可以改善材料表面亲水性，也可以提高表面导电性和材料粘接性。因此，选择合适的等离子体处理方法可以有效地改善材料的表面性能，方便人们的生产生活。