上海舸麟科技有限公司
- 基本信息
- 品牌：舸麟科技
- 产品英文名称：Titanium Silicide Powder
- 纯度：99.5%
- CAS编号：12039-83-7
- EINECS编号：234-904-3
- 别名：二硅化钛
- 颜色/外观：灰黑色粉末
- 分子式：TiSi2
描述
硅化钛用于半导体工业。它通常是通过硅和多晶Si线上的水化技术来生长，以减少局部晶体管连接的片电阻。在微电子工业中，它通常用于C54阶段。
应用
1. 精细陶瓷粉末原料
2. 用于生产半导体薄膜生产坩埚
3. 硅化钛用于半导体工业。它通常是通过硅和多晶Si线上的水化技术来生长，以减少局部晶体管连接的片电阻。
4. 在微电子工业中，它通常用于C54阶段。
5. 可广泛应用于航空航天耐高温材料、涂层材料、陶瓷材料、陶瓷材料等
规格
| Brand | Chemical Composition % | ||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Purity | Ti | Si | P | Fe | S | C | |
| TiSi2 | 99.56 | 46.12 | 53.2 | 0.02 | 0.19 | 0.018 | 0.2 |
| Particle size | -200mesh or on-demand processing | ||||||
