感光胶厚度

范围

0—30μ

备注

误差值

厚度*5%±0.5

图形的尺寸误差

图案尺寸*0.1‰±10μ

图案型变误差

≤5μ

张力控制误差

≤±1N/cm²

表面粗糙度

4μ

精细线条

≥50μ