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安装非常简单,根据功率和扩散泵的尺寸制作扩散泵电磁感应线圈。线圈做好后直接固定在扩散泵的底部。
电磁感应加热用在真空扩散泵中具有使用安全、加热速度比电阻丝加热快2/5的时间节约了预热成本提高了生产效率,电磁感应原理是通过电磁感应线圈直接对真空扩散泵底部感应加热,扩散本泵底部自身发热。电阻加热方式是加热盘自身的温度加热到很高温度然后传递到扩散泵底部,这样就会有大量的热量散失到空气中,增加了车间的环境温度还造成了能量损失。电磁感应加热是使扩散泵底部自身发热没有热量的损失,线圈装好后一般可以用到3-5年,后期没什么维护成本。电阻加热很容易坏,用的时间久了功率还会衰减,所以电磁感应技术应用在真空扩散泵中是很理想的一种加热方式。