半导体和集成电路制造过程的气氛保护,清洗,化学品回收等。
GASPU制造了全球首例用于半导体硅行业的专用变压吸附制氮机,成功的取代了液氮,该系统在香港已无间歇运行近两年。
HTN亨特系列制氮机是根据变压吸附原理,采用高品质的碳分子筛作为吸附剂,在一定的力学效应,氧在碳分子筛微孔中扩散速率远大于氮,在吸附未达到平衡时,氮在气相中被富集起来,形成成品氮气。然后减压至常压,吸附剂脱附所吸附的氧气等其它杂质,实现再生。一般在系统中设置两个吸附塔,一塔吸附产氮,另一塔脱附再生,通过PLC程序自动控制,使两塔交替循环工作,以实现连续生产高品质氮气之目的。压力下,经过净化干燥的压缩空气,在吸附器中进行加压吸附、减压脱附。
二、技术指标:
1、工作条件与使用环境:
1)、对压缩空气源的要求:
a、压缩空气压力: 0.6~0.8MPa
b、压缩空气露点: <2~6℃
c、压缩空气温度: 常温
d、压缩空气含油量: <0.001PPM
2)、使用环境要求:
a、环境温度: 5~40℃
b、相对湿度: ≤80%
c、电源: 220V&50HZ±380V&50HZ
2、主要性能参数、工作原理与结构特征:
1)、空压机压力:0.8~1.0Mpa(可调)
2)、氮气流量:3~3000Nm3/h
3)、氮气纯度:95%~99.9995%
4)、氮气出口压力:0.6~0.8Mpa(按客户需要可调)
5)、原料:空气
6)、整套系统功率:0.5KW~280KW
7)、设备重量:300Kg~5000Kg
8)、设备尺寸:800*600*800mm~8000*3000*4500mm(整套系统集于槽钢架上
9)、露点:≤-40℃~-70℃
氮气应用领域与用途
电子工业:
半导体及电子元件生产的氮气保护
热处理:
光亮退火、保护加热、粉末冶金及磁性材料烧结等
食品工业:
配置除菌过滤器,可用于充氮包装、粮食储藏、蔬果保鲜、酒类封装和保存
煤炭工业:
井上移动式制氮机
化学工业:
氮气覆盖、置换、清洗、压力输送、化学反应搅动、化纤生产保护等
石油天然气工业:
石油炼制、容器及管路充氮吹扫和检漏、注氮采油
医药行业:
中西药充氮贮藏、充氮药料气动传送等
电缆行业:
交联电缆生产保护气
其他:
冶金工业、橡胶工业、航天工业等
本公司长期供应HTN变压吸咐制氮机质量保证,更多详细的参数欢来电咨询洽谈。
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