RCA清洗机是 为带有腐蚀性清洗准备的，它是由石英加热缸，塑料槽（NPP）组合而成的一套完整设备。

本设备由2只石英加热缸，两套温度控制系统（石英缸数量由客户工艺定），两个快速喷淋、排水槽（QDR）,两套喷淋、排水控制系统，一个氢氟酸槽，一个一阶梯溢流槽，一个三阶梯溢流槽，有两套吸酸排放器等功能。

主要特点：最大可清洗片子尺寸：￠300mm            槽体数量可根据用户工艺要求配置

      石英缸加热可达200℃                  快速排放槽（QDR）排放次数可设定

      槽体结构可选单片盒或者双片盒结构         传动分手动或自动

      可选循环系统功能                    具有故障提示，报警等功能

主要技术指标：客户用水压力：0.25～0.3Mpa         排水口：￠60mm

         酸液排放口：1/2PFA管             氮气压力：0.25～0.3Mpa 

         氮气接口管径3/8PE管             压缩空气压力：0.25～0.3Mpa 

         压缩空气接口3/8PE管              电源    AC380V