意大利BDiscom射频电源 BDS-HF 300 AFP
BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列
BDISCOM 推出新一代中低功率高频发生器,旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。
- 型号 BDS.HF 200-300-750.AFP 200、300、400 和 750 W,有源前面板,直接调谐器接口。
- 意大利BDiscom射频电源 BDS-HF 300 AFP
中低功率 AFP(有源前面板)200、300 或 750 瓦系列是一款 1?2 机架安装式发生器,具有直接调谐器控制和 AFP,带有用于选择功能的 LCD 触摸屏显示器和一个用于精细参数调整的旋钮编码器。友好的用户界面软件和 RS 232-Profibus 接口可应要求提供。该装置还可以配置为驱动 2 个自动匹配网络作为选项。
北斗中频发生器
适用于任何高/低压(3kV 至 7kV)PECVD 和 PVD ??工艺的最新且最具价格竞争力的中频发生器
北斗电弧发生器
最可靠的高性能发生器,适用于高效率 (> 90 %) 的大电流 CAE 过程
BDS HF 200 - 300 - 750 射频电源
新一代极具价格竞争力的高效 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 射频发生器。
提供有源前面板或黑盒版本
射频自动匹配网络
等离子矩阵和超级等离子矩阵
具有价格竞争力的台式 RF 13.56 MHz 等离子反应器系统系列,适用于研发或小型工业试生产中的大部分清洁/蚀刻工艺(304 不锈钢中的 2.5 至 40 升真空室)
北斗VIMM
BDS VIMM - 可变电感手动匹配单元 - 是目前市场上最紧凑的 RF13.56 MHz 电感手动匹配网络
BDS GLOW 3000/6000 发生器
带有 AFP(触摸屏有源前面板)的新型高压直流发电机,用于辉光放电过程
BDS 直流溅射电源
溅射电源有 0.5kW、3kW、6kW 和 12kW 可供选择
- 有源前面板 (AFP) 发生器的通用规格:BDS HF 系列是 E 类电路,典型效率为 85-90%。
输出功率通过作用在直流总线上的 PWM 电路进行调制。