意大利BDiscom射频电源 BDS-HF 300 AFP

BDS HF 200 - 300 - 750 有源前面板系列

BDISCOM 推出新一代中低功率高频发生器，旨在满足实验室级和小型低压工业等离子系统的需求。

• 型号 BDS.HF 200-300-750.AFP 200、300、400 和 750 W，有源前面板，直接调谐器接口。
• 意大利BDiscom射频电源 BDS-HF 300 AFP
  

中低功率 AFP（有源前面板）200、300 或 750 瓦系列是一款 1?2 机架安装式发生器，具有直接调谐器控制和 AFP，带有用于选择功能的 LCD 触摸屏显示器和一个用于精细参数调整的旋钮编码器。友好的用户界面软件和 RS 232-Profibus 接口可应要求提供。该装置还可以配置为驱动 2 个自动匹配网络作为选项。

北斗中频发生器

适用于任何高/低压（3kV 至 7kV）PECVD 和 PVD ??工艺的最新且最具价格竞争力的中频发生器

北斗电弧发生器

最可靠的高性能发生器，适用于高效率 (> 90 %) 的大电流 CAE 过程

BDS HF 200 - 300 - 750 射频电源

新一代极具价格竞争力的高效 200、300 和 750 瓦 13.56 MHz 射频发生器。

提供有源前面板或黑盒版本

射频自动匹配网络

等离子矩阵和超级等离子矩阵

具有价格竞争力的台式 RF 13.56 MHz 等离子反应器系统系列，适用于研发或小型工业试生产中的大部分清洁/蚀刻工艺（304 不锈钢中的 2.5 至 40 升真空室）

北斗VIMM

BDS VIMM - 可变电感手动匹配单元 - 是目前市场上最紧凑的 RF13.56 MHz 电感手动匹配网络

BDS GLOW 3000/6000 发生器

带有 AFP（触摸屏有源前面板）的新型高压直流发电机，用于辉光放电过程

BDS 直流溅射电源

溅射电源有 0.5kW、3kW、6kW 和 12kW 可供选择

• 有源前面板 (AFP) 发生器的通用规格：BDS HF 系列是 E 类电路，典型效率为 85-90%。

输出功率通过作用在直流总线上的 PWM 电路进行调制。