BDiscom直流溅射电源BDS-SP3000可选6kw以及12KW

BDS SP 3、6 和 12 溅射电源

用于直流溅射工艺的新型 Bdiscom 电源系列。三个可用范围：

* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 输出

* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 输出

* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 输出

电弧检测（< 200 nSec）和数字接口。适用于中档研发和工业直流溅射工具

用于溅射沉积的新型 Bdiscom 直流电源。

BDiscom直流溅射电源BDS-SP3000可选6kw以及12KW

一些亮点：

* 所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏显示器

* 点火电压高达 1,1 kV

* 电弧检测 DV/DT 关闭时间 < 1mSec

* 冷却空气

• 电源要求：400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
• 功率输出：3、6 和 12kw FS
• 电压输出：1000 Volt FS
• 电流输出：6、12 和 25 安培
• 点火：1,1 KVolt
• 电弧探测器：< 200 nSec 检测，< 1 mSec DV/DT 关闭时间
• 效率：> 90 %
• 显示：触摸面板 240x128 像素
• 调节模式：功率/电压/电流（可选）
• 冷却：空气（强制）
• 接口：RS 232 - Profibus - A/D（Profibus 选项）
• 工作温度：5-40°C
• 尺寸：19” 机架 - 4HU

根据 EN 55011 的 EMC 分类：

这是一种 ISM（工业科学）设备，符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。

CE 标志 - 意大利制造

1.在用射频电源的时候,一般电压表显示80 V时,电流表显示100 mA走有,按照功率P=UI 的计算功率的话,溅射功率只有8W.但是,实际的功率表却显示溅射功率在110W左右.这是怎么情况呢.
2.是不是射频溅射才有自偏压? 我理解的自偏压就是阴极位降区与阴极靶之间的电压计算机电源是一种安装在主机箱内的封闭式独立部件，它的作用是将交流电通过一个开关电源变压器换为5V，-5V，+12V，-12V，+3.3V等稳定的直流电，以供应主机箱内系统版，软盘，硬盘驱动及各种适配器扩展卡等系统部件使用。通俗来讲就是，一个电源坏了，另一个备份电源代替其供电。可以通过为节点和磁盘提供电池后援来增强硬件的可用性。HP 支持的不间断电源（UPS），如 HP PowerTrust，可提防瞬间掉电。磁盘与供电电路的连接方式应使镜像副本分别连接到不同的电源上。根磁盘与其相应的节点应由同一电源电路供电。特别是，群集锁磁盘（当重组群集时用作仲裁器）应该有冗余电源，或者，它能由群集中节点之外的电源供电。HP 代表可提供关于群集的电源、磁盘和 LAN 硬件布局方面的详细信息。许多磁盘阵列和其他架装系统含有多个电源输入，它们应部署为设备上的不同电源输入连接到带有两个或三个电源输入的独立电路设备上，这样，一般情况下，只要出现故障的电路不超过一个，系统就能继续正常运行。因此，如果群集中的所有硬件有2个或3个电源输入，则要求至少有三个独立的电路，以确保群集的电路设计中没有单点故障。发电机能把机械能转换成电能，干电池能把化学能转换成电能。发电机、电池本身并不带电，它的两极分别有正负电荷，由正负电荷产生电压（电流是电荷在电压的作用下定向移动而形成的），电荷导体里本来就有，要产生电流只需要加上电压即可，当电池两极接上导体时为了产生电流而把正负电荷释放出去，当电荷散尽时，也就荷尽流（压）消了。干电池等叫做电源。通过变压器和整流器，把交流电变成直流电的装置叫做整流电源。能提供信号的电子设备叫做信号源。晶体三极管能把前面送来的信号加以放大，又把放大了的信号传送到后面的电路中去。晶体三极管对后面的电路来说，也可以看做是信号源。整流电源、信号源有时也叫做电源。