使用臭氧的工艺排出的废气中总是会含有残留量的未反应臭氧。在将废气排放到大气之前，必须分解其中的微量臭氧。大多数国家均禁止将即使是低浓度的废气排放到大气中。

离开工艺流程的尾气被输送至ozonia ODT尾气臭氧分解装置。在反应室，气体被加热到大约400°C，这可大大缩短臭氧分子的半衰期，从而加快其分解速度，使得离开ozonia ODT的气体中的臭氧含量远低于公认的安全限值（<0.1 ppm）。

反应室中的温度为恒温控制。

优势

• 极高的臭氧分解效率
• 由处理器控制
• 使用寿命长
• 几乎免维护
• 易于集成
• 尺寸紧凑
• 产品完整性高