不符合纠正措施
5.5.1高效过滤器滤料或封胶头泄漏时，若单个漏洞处面积＜总面积的1%，可以用硅胶粘补。若单个漏洞面积超过总面积的1%，或全部泄漏处的面积超过总面积的5%时，则此高效过滤器必须更换。
5.5.2高效过滤器安装框架间存在泄漏，则由专业工程安装人员拆卸重装。若是框架本身质量存在缺陷，由采取相应措施解决之。

测试目的
通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏，确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。
2．测试方法：PAO法。
3．测试状态与前提条件
u 静态；
u 已完成风速测试，结果符合规定；
4．合格标准
过滤器下方测得的气溶胶浓度不超过上游浓度10－4（0.01%）。

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任何物体都会有一层氧化物、氢氧化物、润滑油、防锈油、脱模剂、灰尘等异物污染层，这些都妨碍胶粘剂对被粘表面的湿润，需要进行适当的处理。高效过滤器中，好多产品的外框是金属框如镀锌板、不锈钢板、铝合金、铝板等，这些金属框暴露在空气中，一般都会吸附一定的水分和灰尘。这些内聚强度低、表面能低的污染层和氧化膜将降低胶接强度。胶粘之前，一定要对金属表面进行适当的处理，确保表面无灰尘、无水分、无油污。采用的方法可以根据金属框的实际情况，采用表面清洁或者脱脂除油。

矩形扫描探头面积扫描速度不应超过15cm2/s。
扫描时仪器显示出有等于或大于限值的泄漏，把探头停在泄漏处，在光度计上显示读值的探头位置，即为泄漏位置。画出示意图，标明泄漏位置和泄漏值。
在扫描工作中间及后，核查上游气溶胶浓度，以确定其稳定性。当上游气溶胶浓度变化超过15%时，重新设定100%基准，并追溯检查。