日本福乐Fluoro

内置HEPA过滤器的无油隔膜真空泵

FV-30

  

FV-60

内置进气及排气用HEPA过滤器*

筛选器窗口**

无尘室用无油

长期可靠性

安静的驾驶声

用于静电对策的尼龙制主体

紧凑设计

ESD对策用导电性管（可选）

接地套件（可选）

HEPA过滤器套件（更换部件）

符合CE标准

*HEPA滤镜捕获高达0.3微米的99.97%粒子

**知道HEPA过滤器更换时间

製品	FV-30-110	FV-60-110
流量	2.5 l/min (0.088 cfm)	2.5 l/min (0.088 cfm)
到達真空圧	-300 mmHg (-40 kPa)	-600 mmHg (-80 kPa)
電源	100-120 VAC	100-120 VAC
消費電力	5.0 W	10.0 W
サイズ(D x W x H)	137 x 88 x 85 mm	137 x 88 x 133 mm
重さ	800 g	1250 g
耐久性	連続	連続
寿命	> 8760 時間	> 8760 時間
ウェハーサイズ	6インチまで	8及び12インチ

240VAC仕様もあります (FV-30-240, FV-60-240)