扫描电镜是一种用途广泛的科学研究仪器,是通过电子束来成像的,，其放大倍数可达几十万倍，分辨率可达纳米级别，是形貌和成分分析领域极其重要的一种工具。

扫描电镜测试原理:

扫描电镜利用高能量电子束轰击样品表面，激发出样品表面的各种物理信号，再利用不同的信号探测器接受物理信号转换成图像信息，可对陶瓷、金属、粉末、塑料等样品进行形貌观察和成分分析。

扫描电镜测试项目：

SEM：形貌观察，利用背散射电子（BEI）和二次电子（SEI）来成像，可放大倍率5-100万倍。

EDS：成分分析（半定量），通过特征X-RAY获取样品表面的成分信息，测量Be及以上元素。

样品要求：

1.试样为不同大小的固体（块状、薄膜、颗粒），并可在真空中直接进行观察。

2.试样应具有良好的导电性能，不导电的试样，其表面一般需要蒸涂一层金属导电膜

扫描电镜的运用：

扫描电镜相关测试常和切片技术结合一起做相关测试,如:

IMC观察

锡须观察

表面成分分析

表面异物分析

颗粒物成分分析

微观尺寸量测

金属镀层/涂层厚度检测