气体激光器的重要特点之一，激光工作物质是混合气或单一纯气体因此，对激光混合气组分的纯度有着特殊要求，包装混合气的钢瓶，充装前也必须进行干燥处理，防止污染混合气。如果将氦（He）氖（Ne）激光作为第一代气体激光，二氧化碳激光是第二代气体激光，在半导体制造领域将大量使用的氟化氪（KrF）激光，可称为第三代激光