一、技术指标： （一）整机技术指标 1、结构型式:单管一体式真空管式炉 2、真空室等温段长度：300mm 3、等温区温度均匀度：≤±5℃ 4、最高设定温度：1200℃ 5、工艺温度：400℃-1100℃ 6、炉管直径长度：φ80mm，1200mm 7、工作室材料:高纯石英管 8、控温方式：可控硅移相调压+智能PID调节+程序升降温 9、极限真空度：9.0×10-5pa（冷态空载） 10、工作真空度：＜9.0×10-4pa (@800℃空载) 11、预计空载升温时间：30分钟 12、预计空载降温时间：40分钟 13、供电方式：380,三相 50/60Hz 14、最大功率：8kw （二）石英器件技术指标 1、内壁波纹高度0.2mm，壁厚5mm； 2、整体消除应力，长期使用最高温度1100℃； 3、管壁均匀一致，表面及内部不得有划痕、气泡等缺陷； 4、纯度99.99%以上，杂质含量（Al、Fe、Mg、Cu、Ni、Mn、Ti、Na、K、Li、B等十三个杂质元素的总含量≤50×10-6，其中：Fe≤3×10-6Cu≤0.8×10-6Na≤2×10-6K≤2×10-6Li≤2×10-6B≤0.3×10-6； 5、羟基含量≤220×10-6； 6、热稳定性：在1000℃下恒温15分钟，置于205℃水中急冷，不出现裂纹、缺口。 7、析晶性能：在100010℃下恒温6小时，析晶层平均厚度不大于100m。 二、设备结构 真空烧结炉主要由石英工作室、设备机架、真空系统、可移动电热炉体、功率变压器、功率调节部件、冷却系统、电气控制系统组成。 1、炉体：结构由炉丝、绝缘子、保温棉、外壳、把口环、等构成。炉体恒温区300mm，总长1200-1500 mm,石英管加热全在加热炉膛中，石英管径Ф100mm。采用三段控温技术，（区别于石英管另外还有对应的三点测温），一点超温保护，从而确保恒温区内温度的精度，以及炉体使用的安全。 2、加热原件：发热均匀，加热稳定，寿命长，可参考加热丝采用瑞典KANTHAL，A-1牌号，Ф8mm炉丝，可多年长期工作在1100℃的高温，加热炉丝采用三段控温结构，加热缠绕需确保绕制炉丝时炉丝直径的均匀度。 3、绝缘子：绝缘子的功能是，一方面要保证炉丝匝间间距的均