常用名 五水四甲基氢氧化铵

别 名 四甲基化氢氧化铵 |四甲基氢氧化铵五水合物

英文名 Tetramethylammonium Hydroxide Pentahydrate

简 称 TMAH

CAS号 10424-65-4

EINECS 200-882-9

分子式 C4H23NO6

分子量 181.229

熔 点 67-70 °C

性 状 无色针状晶体

溶解性 能溶于水。

用 途

作硅橡胶、甲基硅油助剂和极谱分析试剂等。在有机硅方面，作为二甲基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂硅橡胶等的催化剂。在分析方面，作为极谱试剂，在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素，在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。四甲基氢氧化铵作为催化剂，其优点是，反应完后加热升温，可使之分解为气体而赶走不残留在产品中。