Renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪

1.renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪

机床与坐标测量机 (CMM)按照标准验证机床和坐标测量机的精品工具

研发与计量

供校准和研究实验室使用的可溯源性测量

运动系统

动态性能，支持高速、高分辨率应用

2.renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪概述

1）精度和动态性能

优越稳定的激光源和准确的环境补偿，保证了±0.5 ppm的线性测量精度。可以高达50 kHz频率读取数据，max高线性测量速度可达4 m/s，即使在max高速度下线性分辨率仍可达1 nm。所有测量选项（不只是线性）均采用干涉法测量，使您对记录数据的精度有信心。

2）使用方便

XL-80设定和使用快速简便，可减少等待时间并增加测量时间，同时仍具有纯粹干涉测量系统精度高的优点。

激光干涉仪和补偿器均可通过USB与计算机连接，因此无需单独的接口，也不必担心复杂的设定。

3）便携性

XL-80激光和XC-80补偿器体积小巧，这意味着一套完整的线性测量系统只需装在一个“便携箱”中，重量仅为12公斤。再加一个三脚架（装入尼龙拉链携带箱中），您就拥有了一个真正便携的机器测量方案。

4）充满信心

优越的设计、制造和技术支持是雷尼绍的标志性特征。不管是微米级测量还是纳米级测量，max先进的设施和品质保障都极为重要。标准的三年保修期和支持网络体现了我们对您的承诺。

3.renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪特性与优点

1）XL-80激光头可以产生非常稳定的激光光束，采用的波长可溯源至国家和全世界标准。

2）激光稳频精度通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内，达到3年内精度保持在±0.05 ppm（百万分之一）。

3）性测量精度在整个环境范围内，即从0 oC - 40 oC（32 oF - 104 oF）和650毫巴 - 1150毫巴的范围内，精度为±0.5 ppm。可以高达50 kHZ频率读取数据，max高线性测量速度可达4 m/s，即使在max高速度下线性分辨率仍可达1 nm。

4）仪器内置的USB意味着激光系统与计算机之间无需单独的接口。

激光头前部的一排LED状态指示灯显示激光状态和信号强度，相当于将屏幕软件上的“状态显示”扩展到激光头上。

可以在标准 (40 m) 和长 (80 m) 距离模式之间切换。

5）模拟I/O端口允许模拟信号输出和触发信号输入。

6）预热时间少于6分钟。

7）外接开关电源允许输入电压在90V - 264 V之间变化。

8）CARTO软件可以进行线性、角度、回转轴、直线度和垂直度测量。其他测量模式则需要使用LaserXL。

4.renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪系统简介

1）计算机软件 — 简单易用但功能强大的软件

2）标准连接 — 通过USB连接XL-80和XC-80

3）可信度 — XL系统的所有测量模式（不仅仅是线性测量）均采用激光干涉原理，因此您可以充分信赖所有的测量精度

4）无线光学镜组 — 在整个轴行程上进行测量时可免受电缆拖拽的影响

5）激光稳频精度 — 通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内，达到3年内精度保持在±0.05 ppm（百万分之一）

6）方便准直调整 — 轻巧的光学镜组和快速的夹具解决方案。获得的光学镜组提供非重叠输出并返回激光束以简化准直调整

7）可溯源的测量 — 干涉测量直接受益于激光波长的可溯源性。雷尼绍的校准结果可溯源至国际度量衡 (CIPM) 相互承认协议 (MRA) 的签约者，CIPM MRA为全世界提供了统一的测量标准

8）灵活 — 适用于数字方波信号输出（出厂设定选项）和外触发信号输入的连接

9）热稳定性 — 激光热源远离测量光学镜组。阳极氧化铝壳光学镜组比钢制光学镜组对环境适应速度快10倍，而且轻巧耐用

10）易于安装 — 信号强度LED指示灯和激光校准特性简化安装和加快使用

11）便携 — 凭借小巧轻便的设计，整个系统可用非常容易携带的“轮式便携箱”进行运输，一套线性系统加箱子仅重12 kg

12）精准 — 在0 °C - 40 °C (32 °F - 104 °F) 温度范围内保持完全测量精度

13）即装即用 — XC-80还配备外接空气温度传感器和材料温度传感器。该系统附带供电电源、一本综合使用手册和所有必需的电缆

5.renishaw雷尼绍 XL-80激光干涉仪应用

1）机器验证

XL-80激光系统max常见的用途是用来验证运动系统。

通过测量机器性能，用户不仅对加工过程充满信心，还可提前发现加工件中存在的问题。

与激光跟踪系统不同的是，XL-80可直接在机器上单独测量几何误差。这样一来，用户对测量结果更有信心，并且能够发现误差。机器精度可通过以下途径提高：

对机器装配进行针对性改造

根据数据应用误差补偿

重复运行测试可验证所作的改进并展示机器改进后的功能。

2）误差补偿

误差补偿可通过减少机器所示 位置和实际 位置之间的误差来提升机器的整体性能。大多数机床都会包含一些用于调整反向间隙和线性误差的选项。然而，功能更强大的机床控制器可提供在刀尖位置应用空间补偿的选项。空间补偿将考虑所有几何误差，包括线性误差。XL-80可用于将补偿值填入到补偿表中。

雷尼绍空间补偿软件将激光测量读数转换成补偿文件，然后可直接将其输入到特定的机床控制器中。

3）激光触发

当对线性测量采用“自动”采集功能时，系统会在机器移至一个被认为稳定的位置时测量位置误差。然而，一些应用需要激光系统在自定义的时间或在同步位置采集数据。XL-80激光系统可采用以下触发方式：

1， 使用计算机鼠标或按键手动触发

2， 编码器同步触发*

3， 基于时间的触发

4， 利用继电器通过机器的控制器进行触发

4）动态分析

了解系统的动态特性，例如加速度、速度、振动、停止时间、共振和减振，对于许多应用都至关重要。这些特性将影响系统的操作能力，例如位置精度、重复性、表面光洁度及磨损。

标准的XL-80激光干涉仪可以高达50 kHz的频率采集动态数据。QuickViewXL软件包简单易用，有直观的界面，能够记录、查看和保存动态数据。

5）双轴

在一些设备中，机器的一个轴由两个驱动装置和两个反馈系统控制（如龙门铣床、车床和大型龙门型坐标测量机）。在这种情况下，两个激光装置与双轴软件结合使用，能够自动同步采集平行轴数据。

6）实验室应用

XL-80系统自从推出后便成为了许多实验室应用的系统，包括世界上许多的校准中心。它具有极为稳定的激光频率、公开的误差范围、以及CIPM MRA*提供的完整溯源性，因此非常适合用作基准系统。同时，多种连接和触发选项使该系统更具灵活性，而且可轻松设计成为自定义装置。