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甲基硅烷（CH3SiH3)
是半导体器件生产中重要的硅源气体，常用于外延气相沉积中 Ge-Si-C层的生成。
中文名称：甲基硅烷
英文名称：Methylsilane in cylinder
英文别名：Methylsilane; methylsilicon
EINECS号：213-598-5
分子式：CH6Si
分子量：43.12
InChI：InChI=1/CH3Si/c1-2/h1H3
