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二手南光1100MM镀膜机

¥ 100000

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  • 3台 总供应
  • 广东 东莞 所在地
东莞市准纳光电科技有限公司
产品详情

厂商

OPTORUN

OPTORUN

SHINCRON

型号

OTFC1300C

OTFC1300DB

BMC1300DDI

序列号

S0019

S0567

980051

电子枪(双电子枪有无)

JST-10F-2GUN

JST-10F-2GUN

JST-10F-2GUN

坩埚点数

24 28

24x2

旋转泵

VS2401

MTR

机械升压泵

EH500

MTR

扩散泵

冷冻U20Px2

22x2

28x2

冷冻机

Polycold PFC-670HC

Polycold PFC-550HC

离子枪(射频离子源)

RIS-1200-2

光学检测有无(光控/精控)

基板加热heater有无

中心回转

中心回转

主要用于量产高精度的带通滤光片产品,包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片,可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障,满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是:搭载了10KV双电子枪,750WRF射频离子源,光学膜厚监控装置(Optorun制,HOM2-R-VIS350A),低温冷凝器(Polycold),油旋转机械泵 (Edwards E2M275)罗茨机械泵(Edwards EH1200);多点和环型坩埚可镀200层以上,膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上,不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。

下面介绍其中两个特点:

1.光学膜厚测量控制:

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程,这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量,并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准,公差更小,可以做到±0.1nm

2. RF射频离子源:

1)加工精度高,便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描,可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上。

2)同使用灯丝型的离子源比较,它的寿命长,污染少。

3)加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工,作为一种微观作用,其宏观压力很小,适合于各种材料和低刚度工件的加工,而且加工表面质量高。







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