厂商	OPTORUN	OPTORUN	SHINCRON
型号	OTFC1300C	OTFC1300DB	BMC1300DDI
序列号	S0019	S0567	980051
电子枪（双电子枪有无）	JST-10F-2GUN	JST-10F-2GUN	JST-10F-2GUN
坩埚点数	24点 28点		24点x2
旋转泵		VS2401	MTR
机械升压泵	EH500		MTR
扩散泵	冷冻U20Px2台	22’x2台	28’x2台
冷冻机	无	Polycold PFC-670HC	Polycold PFC-550HC
离子枪（射频离子源）	有	无	RIS-1200-2
光学检测有无（光控/精控）	有	有	有
基板加热heater有无	有	有	有
	中心回转		中心回转

日本光驰OTFC-1300镀膜机：主要用于量产高精度的带通滤光片产品，包括生物医疗、荧光检测及天文观测用的滤光片，可以使产品的光学性能及稳定性进一步得到保障，满足生物疗领域荧光滤光片对于高对比度、高信噪比、暗黑背景的要求。

OTFC-1300镀膜机的基本配置是：搭载了10KV双电子枪，750W的RF射频离子源，光学膜厚监控装置（Optorun制，HOM2-R-VIS350A），低温冷凝器（Polycold），油旋转机械泵 （Edwards E2M275）罗茨机械泵（Edwards EH1200）；多点和环型坩埚可镀200层以上，膜厚可达20000nm之多。这就意味着单片镀膜就可以达到截止深度OD5以上，不用再为了达到高OD值而再做两片胶合了。从而大大提升了滤光片的成像质量以及产品合格率。

下面介绍其中两个特点：

1.光学膜厚测量控制：

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程，这就使生产效率得以显著提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量，并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更精准，公差更小，可以做到±0.1nm。

2. RF射频离子源：

（1）加工精度高，便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1150mm以上。

（2）同使用灯丝型的离子源比较，它的寿命长，污染少。

（3）加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工，作为一种微观作用，其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工，而且加工表面质量高。