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电子级二氯二氢硅 二氯氢硅 二氯硅烷 SiH2Cl2 DCS

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全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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二氯二氢硅


又名二氯硅烷,分子式SiH2Cl2,分子量101,沸点8.2℃,溶点-122.0
常温下呈液化气体,25℃液体密度1.25kg/L,极易水解,在空气中冒白烟,有盐酸气味,水分存在下有极强的腐蚀性。
比容:0.239m3/kg(21.1ordm;C, 101.325kPa)
CAS Registry No.:4109-96-0
应用:半导体外延和化学气相沉积工艺中的硅源气体。有机硅化合物的生产。制作大规模集成电路所必需的优质硅源

在空气中易燃,100℃以上能自燃,燃烧后生成氯化氢和氧化硅。加热至100℃以上时会自行分解而生成盐酸。氯气、氢气和不定性硅。施以强烈撞击时也会自行分解。在湿空气中产生腐蚀性烟雾。与碱、乙醇、丙酮起反应。即使接触少量卤素或其他氧化剂也会发生激烈反应。

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