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甲基硅烷 电子级 Methylsilane

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全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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Methylsilane


甲基硅烷( CH3-SiH3)是半导体器件生产中重

要的硅源气体, 常用于外延化学气相沉积中GeSi-C层的生成。


inear formula CAS № Molecular weight Assay % Density
g/cm3
Refractive index n20/D Melting pointoC Boiling pointoC
CH3SiH3 992-94-9 46,14414 99.9 156,5
首页 化工 / 气体 / 特种气体
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