全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
Methylsilane
要的硅源气体, 常用于外延化学气相沉积中GeSi-C层的生成。
inear formula | CAS № | Molecular weight | Assay % | Density g/cm3 |
Refractive index n20/D | Melting pointoC | Boiling pointoC |
CH3SiH3 | 992-94-9 | 46,14414 | 99.9 | 156,5 |
¥ 11000
Methylsilane
要的硅源气体, 常用于外延化学气相沉积中GeSi-C层的生成。
inear formula | CAS № | Molecular weight | Assay % | Density g/cm3 |
Refractive index n20/D | Melting pointoC | Boiling pointoC |
CH3SiH3 | 992-94-9 | 46,14414 | 99.9 | 156,5 |