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全氟丁二烯/C4F6
全氟丁二烯/C4F6作为一种温室效应GWP极低，绿色环保的高效干蚀刻气体，具有更快刻蚀速率、更高选择性和更高精确性，更适合于高深宽比的蚀刻工艺。
物化性质
属性
值
化学名称
全氟丁二烯，六氟-1,3-丁二烯
化学式
CF2=CF-CF=CF2
分子式
C4F6
分子量
162.03
沸点（℃）
6
凝固点（℃）
-130
临界温度（℃）
139.6
临界压力（bar）
31.9
液体密度（15℃，kg/l）
1.44
蒸汽密度（kg/m3,@15℃）
6.8
蒸汽压（25℃，bar）
2.11
汽化潜热（熔点时，1.013bar情况下，kJ/kg）
161.8
空气中的可燃范围（%vol)
7-73
