罗茨真空泵类型较多，如水环罗茨真空泵，旋片罗茨真空泵，蒸汽喷射泵，分子泵，往复式罗茨真空泵，定片式罗茨真空泵，滑阀式罗茨真空泵，余摆线罗茨真空泵，罗茨真空泵等，原理是利用偏心转子在泵室内通过旋转形成体积变化，排出泵外的气体，主要是在吸入过程中，吸入室容积增加，真空度降低，容器内的气体被吸入泵室，在排气过程中体积变小，压力增加，最后吸入的气体排出泵通油封。

罗茨真空泵通常采用真空装置的形式。由于普通罗茨泵无法在常压和高压下启动和排放大气，因此需要使用前泵。然而，并非所有罗茨真空泵都需要前级泵。