东莞市准纳光电科技有限公司
ZYGO 4寸干涉仪, 型号:MARK GPI , 软件是9.0版本的,系统是WIN7的,比之前卖的软件版本都要新,电脑也比较新,激光的亮度也比较强,成像质量也比较好,之前是日本企业在用的,保养也比较好,一直到2018年都在做校验,处于在用状态。
一、美国ZYGO干涉仪
1主要指标
1.测量技术:快速机械相移模式QPSI
经典机械相移干涉模式PSI
2.激光光源:大功率稳频氦一氖激光,Ⅲa级
3.波长:633 nm
4.频率稳定度:0.0001 nm
5.相干长度:100 m
6.5.3M像素相机 1.4M像素相机(可选)
分辨率:2304*2304 分辨力:1200*1200/600*600
帧速:210Hz 帧速:50Hz/82Hz
数位:8位 数位:10位
快门时间:200us-10ms 快门时间12us
7.数据采集时间: 130-300ms
8.放大: 1—50×数字式(选1.2KCCD时可选
配1×,1.7×,3×分立方放大)
9.偏振: 接近圆偏振(1.2:1或者更好)
10.光瞳调焦范围: 4英寸:±2.5m;6英寸:±5.5m
11.RMS重复性 0.06nm,/10.00(2q)
12.RMS波前重复性 0.35nm,/1800(mean 2q)
像素峰值偏差 0.5nm,/1200(99.5th%)