ZYGO 4寸干涉仪， 型号：MARK GPI , 软件是9.0版本的，系统是WIN7的，比之前卖的软件版本都要新，电脑也比较新，激光的亮度也比较强，成像质量也比较好，之前是日本企业在用的，保养也比较好，一直到2018年都在做校验，处于在用状态。

一、美国ZYGO干涉仪

1主要指标

1.测量技术：快速机械相移模式QPSI

经典机械相移干涉模式PSI

2.激光光源：大功率稳频氦一氖激光，Ⅲa级

3.波长：633 nm

4.频率稳定度：0.0001 nm

5.相干长度：100 m

6.5.3M像素相机 1.4M像素相机（可选）

分辨率：2304*2304 分辨力：1200*1200/600*600

帧速：210Hz 帧速：50Hz/82Hz

数位：8位 数位：10位

快门时间：200us-10ms 快门时间12us

7.数据采集时间： 130-300ms

8.放大： 1—50×数字式（选1.2KCCD时可选

配1×，1.7×，3×分立方放大）

9.偏振： 接近圆偏振（1.2:1或者更好）

10.光瞳调焦范围： 4英寸：±2.5m；6英寸：±5.5m

11.RMS重复性 0.06nm，/10.00（2q）

12.RMS波前重复性 0.35nm,/1800（mean 2q）

像素峰值偏差 0.5nm,/1200（99.5th%）