氦质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是真空检漏技术中灵敏度高，用得普遍的检漏仪器。

很多情况下，我们需要密封住一定的空间，防止气体或液体在压力的作用下，流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机，液晶注入机，PVD，半导体外延等等)，需要在真空条件下工作，要求在工作时，空气不能漏进工作腔体，否则生产不能进行，或者产生次品，浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶氧气瓶，空调冰箱中的雪种容器等等)，要求在容器内外存在压差的情况下，不能有气体或液体漏出。如果有漏，后果严重，一般会造成有效物资的浪费，如有毒物资、腐蚀性气体漏出，甚至会酿成事故。

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产品外观：精心设计、外观新颖、美观大方、坚固耐用。

操作简便：体积小、重量适中、结构合理、操作简便、人性化面板。

操作系统：结合应用领域的产品特性，控制系统可以根据客户需求定制。

性能：核心部件采用德国、日本进口器件，响应时间快、测量范围宽、灵敏度高、检漏快速。

功能强大：菜单设置选项丰富，多重权限管理控制，多种检漏模式自动切换。

多种接口：具有RS485/232，外观IO设计，外部规管标准接口。

可靠性高：采用抗氧化强的氧化钇铱灯丝提高灯丝寿命，降低热量，极强的保护功能。

检漏：采用的氦质谱室与核心部件，确保检漏。