高压电源维修中心 品牌 AXCELIS 型号GEMINI深圳市佳轩工业自动化有限公司从事大功率射频电源研发及第三方维修技术服务供应商，专业射频电源维修，匹配器维修，高压电源维修，直流电源维修，微波电源维修，曝光灯电源，维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源

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 美国AE RF射频电源维修及故障分析  维修型号：DPG(RPDG) Series:DPG-10-05 DPG-10 ACG Series:ACG-3 ACG-3B ACG-5 ACG-6 ACG-6B ACG-10 ACG-1OB 2100L-15P 5100L 600L 601POEM Series:OEM-6  OEM-6A OEM-6B OEM-12   OEM-12A OEM-12A-XL OEM-12B OEM-12-B3 OEM-25AOEM-25-XL OEM-28B OEM-50 OEM-1250 OEM-2000 TEL-7000-RFSpectrum Series: B-1513 B-3013 B-10013 B-10002 B-5002 B-11002 B-5513Z B-10513Supepower Series:QL-3513 QL-6513 QL-10513 QL-13013GENESIS(GHW,GMW,GEW,VHF)Series:GHW-12 GHW-25 GHW-50 GHW-80 GHW-2527 GHW-3040GHW-58A GHW-85A GMW-25A GMW-25Z GEW-2527 GEW-3040NOVA Series:NOVA-25 NOVA-25A NOVA-50A 

从事大功率射频RF电源研发&第三方维修供应商，为太阳能光伏、半导体、液晶面板、镀膜行业研发和维修PVD、CVD、

PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源，包括直流、高压、脉冲、射频、微波、匹配器、RPSC、CHILLER。

服务品牌：

AE（Advanced Energy）、ENI(MKS)、KYOSAN京三、SEREN、DAIHEN、COMDEL、VEECO射频电源，

HiTek Power，Glassman、Spellman高压电源，Lambda、delta、sorensen、PowerTEN直流电源。

ASTeX Microwave Power Supply、ASTeX SMART MATCH、FLASH  LAMP、ESC HV PSU

美国AE RF射频电源维修及故障分析开关管性能的恶化，必然开关管不能正常工作，电源内阻，降低负载能力。

，确定故障元件要“测、试、换”。“测”就是通过测量来确认故障元件。首先测电源电压，再测各个“关键点”的电压，如发现可疑再进一步测量可能的故障元件，总之测量是必不可少的工作，而万用表是一种简单的实用和必备工具。“试”就是多种方法进行调试。这方面涉及内容比较广泛，要根据实际情况灵活采用，如“开路法”测短路故障，“短路法4测噪声源等。“换”就是采用“替换法”（后面介绍）。“测、试、换”是基本的检修手段，要综合考虑和。

深圳市佳轩工业自动化有限公司维修日本ADTEC TX5000-400等系列射频RF电源、德国ADL电源、德国Huttinger电源 TruPLasma MF（中频）、TruPLasma Bipolar、TruPLasma DC BIAS（4020）（双极型）、TruPLasma DC（直流3010）、美国AE电源MDX、MDL、pinnacle系列、AE公司RF射频匹配器、EN系列、高压清洗AP plasma power supply弧源DSP 2500 Plasma plus、plasource射频电源、REX-600射频电源、德国honle-UV灯电源、日本爱科华ULVA分子泵控制器电源、莱宝、普发分子泵控制器电源、美国Comdel射频电源、AE Sparc-VS斩波器、美国SEREN射频电源、日本USHIO-UV灯电源、UV灯电源、plasource RF射频电源、日本KYOSAN射频电源、日本ADTEC射频匹配器服务。我们维修电源多，覆盖面广，拥有全部配套电源的测试条件与调整设备，测试条件全。10年工程师修理，技术过硬，可以快速确定问题，并解决问题，质量有保障。我们秉承着合作才能共赢的理念，坚持以诚信为本，以客户为服务对象，以质量为追求。是电镀电源和真空分子泵控制电源的维修服务公司。