USHIO射频电源维修 中频电源射频电源不能起辉维修深圳市佳轩工业自动化有限公司从事大功率射频电源研发及第三方维修技术服务供应商，专业射频电源维修，匹配器维修，高压电源维修，直流电源维修，微波电源维修，曝光灯电源，维修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP，PLASMA的设备电源

凡经本公司维修过的设备均使用原装器件跟换保证其稳定性，修复过的设备经过本公司的专业测试平台带负载测试，电路板的关键部位均做绝缘喷漆处理，电路上老化的元器件（滤波电容，散热器，风扇等）均跟换或重新做散热处理，保证设备使用中的稳定性与可靠性。

 

维修速度快产品五个工作之日内修复。(加急2个工作日，特急1个工作日或到现场为您解决问题.) 维修后先检查故障原因，列出故障部件明细及价目传真至客户，经客户同意后再行修理。维修价格低 固定长期合作的配件供应商，限度的降低客户维修成本。 维修质量好 本维修中心工程师都具有多年维修经验，精通进口产品。维修设备精 本维修中心配有先进的维修仪器，专用的测试台及系列负载试验设备。维修配件齐 配有充足、齐全的零部件，保证维修的顺利进行。 维修有保障 修理过的设备如出现同类故障，针对相同故障，我们提供超长保修时间

一、RF Generator射频电源维修和配套直流电源

      1、AE（ADVANCED ENERGY） 2、RFPP射频电源 3、MKS/ENI射频电源 4、AD-TEC射频电源 5、COMDEL射频电源 6、DAIHEN射频电源7、HUTTINGER射频电源8、KYOSAN射频电源9、SEREN射频电源10、VEECO射频电源11、NP射频电源

二、RF MATCH(射频电源匹配)1、ADVANCED ENERGY射频电源匹配2、ASTEX射频电源匹配3、NP(NEW POWER PLASMA)射频电源匹配

　4、ASTECH射频电源匹配5、SEREN射频电源匹配6、LAM射频电源匹配7、KYOSAN射频电源匹配8、ENI射频电源匹配9、DAIHEN射频电源匹配10、AMAT射频电源匹配11、TRAZAR射频电源匹配

三、高压电源

      1、HiTek Power supply高压电源 2、ADVANCE HIVOLT高压电源 3、Wallis Hivolt (Farnell Hivolt)高压电源

      4、GLASSMAN高压电源  5、SPELLMAN高压电源  6、Varian高压电源  7、其他品牌

四、直流电源

　　1、LAMDBA ESS/EMI直流电2、Delta ELEKTRONIKA直流电源3、SORENSEN直流电4、AMETEK可编程电源5、POWER TEN直流电源

　　6、灯丝电源、X射线电源7、曝光灯电源USHIO（ Mercury lamp power supply）

五、微波电源发生器

　1、ASTeX AGL系列微波电源Microwave Generator2、MUEGGE Microwave Power Supply微波电源3、ASTeX Smart Match

美国SEREN射频电源维修R1001工业电源维修R600

 工业电源维修：AE电源维修，美国MDX,MDXII,Pinnacle,Diamond系列AE电源维修，AE电镀电源维修，AE射频电源维修，电镀高频电源维修，刻蚀射频电源维修，RE射频电源维修，PECVD射频电源维修，大功率工业电源维修，UPS电源维修等各行业工业用电源维修，射频电源设备维修：刻蚀，RIE,PECVD,ICP,射频溅射，CVD和PVD等系统，