二次离子质谱对固体材料的表面微区分析案例

二次离子质谱是一种分析固体材料表面微量成分的检测技术，该技术对元素的检测限非常额高，可以达到ppm甚至ppb几倍。除了分析元素，还可以分析同位素、官能团和分子结构。可用于所有在真空下稳定的固体材料的检测。目前已广泛应用于半导体、生物医学等领域。

技术的原理是用离子束来轰击材料表面，然后用质谱法检测二次离子受离子束轰击后的质量电荷比，一次离子束的能量范围可以从几百到数万电子伏。当轰击材料表面时，一些离子会反射，其他离子会进入固体内部并将能量传递给其他原子，当固体表面原子获得的能量大于溅射阈值时，它们将被溅射到外部，原子团或分子将直接飞溅。通过质谱仪接收到这些二次离子后，可以获得样品组成信息。

SIMS技术通常分为静态（SSIMS）和动态（DSIMS）。静态SSIMS主要用于表面质谱和表面成像。通常只获得表面单原子层信息，可用于分析有机化合物的分子结构。动态DSIMS利用高能高密度离子束轰击材料表面，配合表面扫描和离子溅射获得样品的微区元素和三维元素分布图，反映样品中元素或分子结构的分布。

配备TOF检测器的TOF-SIMS拥有当前表面分析技术中最高的分辨率。微源检测可提供德国ION-TOF先进TOF-SIMS仪器检测为厂家提供完善的SIMS技术解决方案。下图是利用SIMS技术研究聚乙烯材料中添加剂成分和分布情况的案例：质谱图采用静态TOF-SIMS技术研究最表面添加剂的种类，下方则是利用DSIMS研究表面微区1.5微米深度下的几种添加剂分布情况。

公司介绍：

微源检测，是集研发分析测试服务、药物质量研究、基因毒杂质研究、元素杂质研究、结构确认、生物药分析服务等一体，面向全球的独立第三方生物医药研发测试服务公司。

由国内领先的科学服务企业上海泰坦科技股份有限公司（简称：泰坦科技）参股成立，秉承“让检测精准又高效”的价值观：

l资质实验室CMA,CNAS，按照ISO-17025和GMP要求建立的实验室

l建设有1500 平米的高标准生物医药实验室

l专业技术研发团队成员经验丰富，3天出具检测结果

l现有精密分析仪器100 台，均安装网络版审计追踪软件

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微源检测定制的个性化方案，为客户提供了专业可靠，高效率、高质量、合规的检测分析服务。协助客户解决了检测,分析,测试等各类问题，缩短了工艺验证或方法建立所用的时间，降低研发风险，缩短研发周期，推进产品的市场化进程。