空调空气处理系统的工作原理是：按照一定比例混合新风和回风，然后输送冷冻水到空气处理单元，冷水吸收空气的热量，使其温度、湿度与空气品质等因素满足洁净室环境的要求后，送入生产车间内。空气处理单元是指安装在机房内的组合式空气处理设备，它是洁净空调系统的核心与重要组成部分。空气处理单元针对不同的生产工艺和地区，其组成略有差异，如湿度常年较大的靠海地区，空调系统是只需要器而不需要加湿器。空气处理单元的目标是尽可能优化运行，以节约能源。