乙腈是极性较强的有机溶剂，对油脂、无机盐、有机物和高分子化合物均有很好的溶解性，可以清洗掉硅片上的油脂、蜡、指纹、腐蚀剂和助焊剂残留物等。所以，可以使用高纯乙腈作半导体清洗剂。