全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
英文名
Trisilane、Trisilicopropane、Trisilicane、Trisilicon octahy-dride、Silicopropane．
用途
半导体硅膜制造、非晶硅制造。
理化性质
液体密度(-117.4℃)： 725kg/m3
气体密度(0℃，101.325kPa)：4.15kg/m3
比热容(气体，27℃)： 1256.04J/(kg·K)
粘度(20℃)：0.00318 Pa·s
