¥ 25000
| 乙硅烷（Si2H6）Disilane | |
| 化学式 | Si2H6 |
| 中文名称 | 乙硅烷 |
| 英文名称 | Disilane |
| CASNo. | 1590-87-0 |
| 分子量 | 66.22 |
| 充装系数 | |
| 应用 | 光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。太阳能电池、乙硅烷在薄膜晶体管液晶显示和芯片制造以及非晶硅膜太阳能电池生产中都有着极其重要的作用。作为沉积源时，与相同作用的硅烷相比，乙硅烷具有沉积速度更快、沉积温度更低等优点。 |
| 产品规格 | ≥99.998% |
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