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| 硅烷（SiH4） | |
| 化学式 | SiH4 |
| 中文名称 | 硅烷 |
| 英文名称 | Silane |
| CASNo. | 7803-62-5 |
| 分子量 | 32.118 |
| 充装系数 | 0.3kg/L(气瓶公称工作压为15MPa时) |
| 应用 | 硅烷在半导体工业中主要用于制作高纯多晶硅、通过气相淀积制作二氧化硅薄膜、氮化硅薄膜、多晶硅隔离层、多晶硅欧姆接触层和异质或同质硅外延生长原料、以及离子注入源和激光介质等，还可用于制作太阳能电池、光导纤维和光电传感器等。 |
| 产品纯度 | ≥99.9999% |
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