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乙硅烷为无色透明液体，在空气中自燃，着火点低于室温，遇到空气即瞬间燃烧，并分解成为SiH4和H2。燃烧浓度范围宽，浓度在0.2%以上时，燃烧发出火焰；浓度在0.2%以下时，进行氧化反应生成白色的SiO2。在氯气中爆炸性地燃烧。与卤素气体爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与SF6接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。与碱金属及汞合金反应分解生成硅烷和氢。与苛性钾作用游离出H2。与纯水和酸不反应，但与碱反应生成硅酸盐和氢。即使从玻璃中溶解出的那种程度微量碱的存在，也能使乙硅烷水解。在KH或LiCl杂质的存在下，在常温也缓慢地分解。
主要用途：
1、用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。
2、在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。
