在常温常压下为无色透明气体，具有刺激性气味。d4－250.686，熔点－132．5℃，沸点－14．5℃，它具有与硅烷类似的化学性质，比硅烷不稳定，反应性比硅烷更强。在光照或室温缓慢分解成硅烷和氢，在光照下也可分解。在空气中自燃，浓度在0.2％以上时燃烧会发出火焰，浓度低于0.2％时，则发生氧化反应生成白色的二氧化硅。与卤素气体发生爆炸性地反应，但如果是在低温，则适度地进行卤化。与六氟化硫接触则爆炸。与四氯化碳和氯仿激烈反应。乙硅烷比硅烷更不稳定，应更加小心。

乙硅烷用途：

1.用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相沉积等方面。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。 在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。

2.在半导体工艺中用于外延和扩散工艺，也用于太阳能电池和电子照相用的感光鼓。

3.本品可用于太阳能电池生产、分子束外延和离子注入等技术。在太阳能电池生产中，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的沉积速度快得多，且温度可降低200～300℃。在离子注入中，以乙硅烷作离子源后易起辉、束流强，效果明显好于用其他气体作离子源。