硅烷作为一种提供硅组分的气体源，可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶

硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制，已

成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的最

主要的特种气体, 用于各种微电子薄膜制备, 包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮

化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展: 低温外延、选择外延、异

质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件(砷化镓、碳化硅等

)。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有先进的集成电路的生产

线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极大，更高级的器件需要更高纯

度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。