硅烷气是太阳能电池生产过程中不可或缺的材料，因为它是将硅分子附着于电池表面的最有效方式。在高于400℃的环境下，硅烷气分解成气态硅和氢气。氢气燃烧后，剩下的就是纯硅了。此外，硅烷气可以说是无处不在。除了光伏产业外，还有很多制造工厂需要用到硅烷气，如平板显示器、半导体、甚至镀膜玻璃生产厂。

硅烷气体应用广泛，用于光伏产业多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物、外延硅片、光电子产业，液晶平板显示器(TFT) 电子复印机光感鼓膜、微电子产业，集成电路。可用于制造完美的外延薄膜，以及高质量、高水平的半导体分立器件，还可以用于制作非晶硅太阳能电池的原板。硅烷早期用于玻璃工业，制成的镀膜玻璃具有Si/SiC纳米镶嵌复合结构，有良好的外观遮阳性能和良好的化学稳定性。
用于制造先进陶瓷、复合陶瓷、功能材料、高能材料等；成为许多新技术、新材料、新器件基础；军事、卫星、交通 例如磁悬浮列车晶闸管所用材料。