乙硅烷在常温常压下为无色透明具有不愉快刺激臭的有毒气体。它具有与硅烷类似的化学性质，但其反应性比硅烷更强。它比硅烷更不稳定，在室温缓慢分解成硅烷和氢。乙硅烷可溶于二硫化碳、乙基醇、苯和乙基硅酸。它腐蚀橡胶、黄油类、润滑油、铅等，但对大多数金属不腐蚀。

主要用于太阳能电池、感光转筒、非晶硅膜、外延成长、氧化膜、氮化膜、化学气相淀积。