全氟丁基磺酸

CA S号：144317-44-2

分子式：C22H15F9O3S2

分子量：562.46800

中文名称：全氟丁基磺酸三苯基锍盐

英文名称：Triphenylsulfonium nonaflate

中文别名：五氟-1-丁烷磺酸三苯基硫盐

英文别名：Triphenylsulfonium nonaflate

性 状：白色结晶粉末。

用 途：表面活性剂(SAA)，阳离子光引发剂，光致产酸剂(PAG)，与全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)相比，安全、卫生、低毒、环境友好，可作为目前157-nm、193-nm、248-nm光刻胶中常用光酸剂(PAG)全氟辛基磺酸三苯基锍盐(TPS-PFOS)的替代品。

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