无色透明液体，熔点15℃，沸点127℃，密度0.752g/mL。在空气中瞬间就能着火自燃，与具有活性氢的醇、酸及水剧烈反应。与己烷、庚烷等脂肪烃及甲苯、二甲苯等芳香烃以任意比例混溶。

在光伏领域用于PECVD或ALD沉积Al2O3钝化膜；在半导体制造，用于沉积High-k材料介质薄膜，如Al2O3；同时，TMA还是有机金属化学气相沉积法（MOCVD）制造含铝半导体（如AlAs, AlN, AlP, AlSb, AlGaAs, AlInGaAs, AlInGaP, AlGaN, AlInGaN, AlInGaNP等）中有机金属的重要来源。