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三甲基锑-TMSb-金属有机化合物-MO源

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全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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纯度99.9999%,在常温压力下为具有大蒜臭味的无色透明有毒液体。在空气中迅速氧化,有时能着火爆炸。能与氧、硫、卤素迅速化合,不与水、二氧化碳反应。最高允许浓度0.5mg/m3。用格利雅试剂CH3MgI与SbCl3反应生成Sb(CH3)3,经化学方法处理,再经蒸馏、精馏可制得99.999%的纯品。用于电子工业中的金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺和有机合成。

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