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亚格泰-三甲基铟-TMI-高纯金属有机源(MO源)

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全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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三甲基铟在常温常压下为无色透明具有特殊臭味的升华性无色结晶。遇冷水部分水解放出甲烷气体。它与己烷、庚烷等脂肪族饱和烃,甲苯、二甲苯等芳香族烃以任意比例相溶。空气中自燃。与AsH3、PH3、醚类、叔胺及其它路易士碱形成稳定的络合物。与具有活性氢的醇类、酸类进行激烈反应。与甲基醚、三甲基磷烷、三甲基砷烷等作用形成配位化合物,但是其稳定性比镓差。光照易引起三甲基铟的分解,长期保存时需要存放在阴凉干燥之处。

主要用于金属有机气相沉积(MOCVD)工艺外延生长磷化铟和其他含铟化合物半导体功能材料的原材料。

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