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亚格泰-三甲基铝-TMAl-高纯金属有机源(MO源)

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全椒亚格泰电子新材料科技有限公司
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一般描述

三甲基铝(TMA)是所有有机铝化合物中最具反应性和挥发性的。其非常容易自燃。它可作为高反应性还原和烷化剂。

应用

TMA可用于Ziegler-Natta催化剂的聚合和加氢。TMA主要用于生产甲基铝氧烷,例如:
  • Al2O3的金属有机化学气相沉积(MOCVD)(使用TMA和O2前体)。
  • 使用TMA和甲烷作为铝和碳的原料,将Al4C3生长于Al2O3(0001)上。
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