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原子荧光光谱仪利用原子荧光谱线的波长和强度进行物质的定性与定量分析的方法。原子蒸气吸收特征波长的辐射之后，原子激发到高能级，激发态原子接着以辐射方式去活化，由高能级跃迁到较低能级的过程中所发射的光称为原子荧光。当激发光源停止照射之后，发射荧光的过程随即停止。
根据荧光谱线的波长可以进行定性分析。在一定实验条件下，荧光强度与被测元素的浓度成正比。据此可以进行定量分析。原子荧光光谱仪分为色散型和非色散型两类。两类仪器的结构基本相似，差别在于非色散仪器不用单色器。
1、色散型仪器由辐射光源、单色器、原子化器、检测器、显示和记录装置组成。
2、辐射光源用来激发原子使其产生原子荧光。可用连续光源或锐线光源，常用的连续光源是氙弧灯，可用的锐线光源有高强度空心阴极灯、无极放电灯及可控温度梯度原子光谱灯和激光。
仪器的注意事项：
1、从自动进样器上取下样品盘，清洗样品管及样品盘，防止样品盘被腐蚀。
2、载液和还原剂应注意及时更换，不要使用放置时间较长的载液和还原剂，测量时应临配现用。
3、元素灯的预热必须是在进行测量时点火的情况下，才能达到预热稳定的作用。只打开主机，元素灯虽然也亮着，但起不到预热稳定的作用。、硒灯，特别是双阴极灯和新灯，要预热时间长些。
