日本光驰真空镀膜机 国外进口光学玻璃光学机 半导体行业真空镀膜机

本公司现有一批1300MM 1550MM 2350MM日本原装光驰镀膜机出售，含双枪 晶控 光控 离子源 涉频源，都是在线使用中的设备 含安装调试。

日本光驰OPFC-1550MM镀膜机 电镀机 光学机

配置表：OTFC-1550光驰镀膜机(年份: 2015. 11)

日本电子16F双枪，23寸光驰RF离子源

275机械泵 爱德华配套罗茨泵

HOM2R-VIS350A光学膜厚监控仪

XTC/3 6点式水晶传感器在线使用中的设备 含安装调试。

真空室SUS304,φ1300mm×1920mm (H)

工件架 φ1600mm

工件架转速10rpm to 30rpm(可变)

光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪

波长范围：350nm to 1100nm

反射式或透射式

石英晶振膜厚计XTC/3 6点式石英晶体传感器

蒸发源 电子枪2套

离子源23cmRF离子源

排气系统 机械泵 2个扩散泵 Polycold（或2个冷凝泵）

达到压力7.0×10-5 Pa以下

排气时间20分（大气压～1.3×10-3 Pa)

基板温度 ：350℃

日本光驰OPFC-1550MM镀膜机 电镀机 光学机特点：

OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。

真空室尺寸：Φ600-1800mm

60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源

搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上

日本光驰OPFC-1550MM镀膜机 电镀机 光学机利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程

1.光学膜厚测量控制：

OTFC-1300镀膜机是利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程，这就使生产效率得以提高。光学膜厚监控技术已经成为当今光学薄膜成膜自动化的核心技术。可以对薄膜的厚度进行无损的、实时的测量，并在达到所需厚度时能及时给出控制信号。这就意味着镀膜更 ，公差更小，可以做到±0.1nm。

2. RF射频离子源：

（1）加工精度高，便于控制。离子束可以通过离子光学系统进行聚焦扫描，可以控制尺寸范围。高离子电流密度和均匀分布，照射面积能达到Ф1150mm以上。

（2）同使用灯丝型的离子源比较，它的寿命长，污染少。

（3）加工应力、变形极小。离子束加工工艺是一种原子级或分子级的微细加工，作为一种微观作用，其宏观压力很小，适合于各种材料和低刚度工件的加工，而且加工表面质量高。

（4）动作安定性高，能长时间运转。

3.镀膜机明细参数：

真空室SUS304,Ф1300mm×1500mm(H)基板架4片式工作架（或Ф1200 mm）基板架转速 30rpm(可调)晶振式膜厚计XTC/3 6点式水晶传感器蒸发源电子枪1台性能极限真空7.0×10-5Pa以下抽气速度10分（大气压～3.0×10-3Pa）基板 加热温度 350℃安装要求安装空间约4500mm(W)×6000mm(D)×3200mm(H)电力3相，200V，50/60Hz，约80KVA水流量100升/分以上压缩空气压力0.5-0.7MPa重量约5000kg

二手设备清单
1	抛光设备	日本（HAMAL 创技）：9到40B
		德国双端面磨床（皮特沃斯：319 320）
		台湾多米诺单面抛，国产单面抛（900到1.7米）
		台湾环抛机（610 900 1米）
		国产抛光机（瑞德4B 6B 9B 13B 15B 16B 20B）
2	检测设备	干涉仪（美国ZYGO 日本富士 日本奥林巴斯）
		日本岛津光度计（ 1700 1750 1800 2450 2550 2601）
		进口光谱仪（日本日立4100 傅立叶红外光谱仪）
		平坦度测试仪（进口FT17 康宁100）
		日本帕尔：中心仪 日本尼康：准直仪
3	奥林巴斯透镜设备	日本春进下摆机，球面铣磨机，上摆机，推拉机，芯取磨边机
4	玻璃加工设备	中航仿形机 全自动仿形机 透镜铣磨机
		精雕机（北京精雕，台湾大量，恒远，远洋，佳铁）
		切割机（韩国全自动切割机，台湾精一异形切割机，银锐切割机）
5	测量设备	二次元影像测量仪（全新2010 3020 4030二手特价出售 ）
		三坐标（思瑞 三丰 杜芬品牌）
6	镀膜设备	德国莱宝，新科隆，光驰，韩一，成都南光
7	配件辅料	抛光皮，金钢砂盘，修正轮
地 址：广东东莞市茶山镇黄岭路62号 欢迎来电咨询，联系电话：13829274046 13580817490（同微信）