纯水设备是指符合饮用水规范卫生标准的水作为原水，通过电渗析、离子交换器和反渗透密封在容器中，不含任何添加剂，无色透明，可以直接饮用。

超纯水设备是在纯净水设备的基础上，进一步将水中的导电介质几乎去除作用，也将水中未离解的胶体物质、气体去除到非常低的程度。电阻率大于18ω* cm。或者接近值18.25mω* cm。

超纯水是一般工艺难以达到的。超纯水可通过合理的工艺设计和设备选型，采用微滤技术、超滤技术和离子交换技术中的两种或两种以上技术生产，电阻率可达18.20 mω * cm。

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