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真空阀门

常用的真空阀门有隔膜阀、蝶阀(或针形阀)。

隔膜阀安装在抽气、取样、测压及冷剂水旁通管路上。在使用时应注意尽量减少开启次数，关闭时不能拧得过紧，要随时检查隔膜阀的严密程度。停机后应定期检查并更换老化的橡胶隔膜。

真空蝶阀或针形阀一般安装于屏蔽泵出口管段。使用前先松开背轮，再搬动手柄。微调工质流量时，可轻敲手柄。控制溶液循环量的阀门，不要大开大关，使系统中工质流量难以调整。