仪器优点：

1.分析精度极高

2.分析范围广泛

3.微区精准定位

4.操作简单快捷

5.结果可靠精准

6.领先行业标准

性能优势：

1.先进的EFP算法：多层多元素、各种元素及有机物，甚至有同种元素在不同层也可精准测量。

2.上照式设计：实现可对超大工件进行快、准、稳高效率测量。

3.自动对焦：高低大小样品可快速清晰对焦。

4.变焦装置算法：可对最大90mm深度的凹槽高低落差件直接检测。

5.小面积测量：最小测量面积0.002mm2

6.大行程移动平台：手动XY滑台100*150mm，自动XY平台200*200mm.

结构设计：

一六仪器研制的测厚仪独特的光路交换装置，让X射线和可见光摄像同一垂直线，达到视觉与测试定位一体，且X光扩散度极小；与EFP软件配合达到对焦、变焦双焦功能，实现高低、凹凸不平各种形状样品的测试；高集成的光路交换装置与接收器的角度可缩小一倍，可以减少弧度倾斜放样带来的误差，同时特征X射线可以穿透测试更厚的表层。

独创EFP算法：

采用Fp算法的后一代全新核心算法--理论Alpha系数法，基于荧光X射线激发的基本原理，从理论上计算出样品中每个元素的一次和二次特征X射线的荧光强度，在基于此计算Lachance综合校正系数，然后使用这些理论a系数去校正元素间的吸收增强效应。

只需少数标样来校正仪器因子，可测试重复镀层、非金属、轻金属以及有机物层。