厂家直销日本KASHIYAMA樫山工业真空泵NeoDry30E

南京腾宇机电科技有限公司

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产品详情：

SDE-TX シリーズ

SDEのプロセス性能特化モデル

01
FEATURE

耐デポ性能に優れた縦型スクリューを採用

02
FEATURE

構造材料や温度設定による高い耐食性 *1

ハーシュプロセス対応例

主要型式

仕様 / 型式	SDE120TX	SDE303TX	SDE603TX	SDE1203TX	SDE20M12TX	SDE30M12TX
排気速度 [L/min] *2	1,500	5,000	10,000	20,000	30,000	45,000
到達圧力 [Pa] *2	1.3	0.5
電源電圧 (50/60Hz)	3相 AC200～220V,?380～480V
外観寸法 [mm] W*H*L *3	W:370 H:501 L:690	W:400 H:905 L:760	W:400 H:905 L:760	W:400 H:905 L:900	W:460 H:960 L:900	W:500 H:960 L:1020

*1. 対応ガス種に関してはお問い合わせください。　*2. N2パージ未使用時の値です。
*3. パッケージ寸法になります。詳細寸法については外観図をご請求下さい。
*海外規格対応についてはお問い合わせ下さい。また、仕様及び型式名に関しては予告なく変更される可能性があります。

排気性能曲線

*排気性能曲線は組合せにより変更となります。